序号

名称

参数描述

1

防辐射

采用X射线源，有豁免证书

2

扫描架

精密O型架结构保证长期运行稳定性

3

扫描速度

1.0 〜 18m/min（可调）

4

采样频率

200kHz（200000个测量值/秒）

5

响应时间

＜1ms

6

测量范围

3至105μm

7

测量重复精度

±2sigma≤真实值*0.2‰or±0.05g/㎡

8

测量幅宽

1300-1700mm

9

测量分辨率

0.001μm

10

相关性R²

＞99%